室内コンタミ
製品品質の高精度化・高純度化が進む現在において、生産現場では環境設備、建築材、使用する化学物質などからガスや粒子状物質が発生した場合、製品が汚染(コンタミネーション、以下コンタミという)されることがあります。当社では、これらのコンタミの原因となる物質を特定するため無機物と有機物に分けて定性分析のご提供を致します。
試験対象物質
無機物
| 試験項目 | 対象成分 |
|---|---|
| 金属元素 | Na、K、Al、Si、Ca、Fe、Cu、Ni、Znなど |
| 酸性ガス | F–、Cl–、NO3–、NO2–、SO42-など |
有機物
| 試験項目 | 対象成分 |
|---|---|
| 有機成分 | 低沸点〜中沸点(例：アルコール、アルデヒド、炭化水素、多環芳香族炭化水素など) |
試験方法
無機物
STEP1
捕集液を入れたシャーレを測定場所に設置する（放置期間：～数日）
STEP2
当社に送付し、分析を実施する
有機物
STEP1
捕集剤を入れた容器を測定場所に設置（放置期間：～数日）
STEP2
捕集剤を専用バイアルに入れ、当社に送付。分析を実施する
実施例
実施例①：クリーンルーム内の無機物測定
クリーンルームでの金属元素のICP-MS(誘導結合プラズマ質量分析計)試験結果を示します。試験条件は以下の通りとなります。
> 採取時間：72時間
> 試験装置：ICP-MS
クリーン度の高い（クラス100）地点からも、B:ホウ素やNa：ナトリウムなどの元素の検出が確認されました。
実施例②：有機前処理室での溶剤成分の測定
有機溶剤を使用する室内での測定を行いました。
> 採取期間：7日間
> 試験装置：Py-GCMS
（パイロライザーGCMS：試料(捕集剤)を加熱し発生したガスを成分ごとに分離して、同定・定量する装置）
> 結果：使用していたN,Nジメチルホルムアミドが多く検出されました。
当社ではご要望に合わせたコンタミ物質の評価方法を提案できます。
改装工事後（壁紙や床材の張替えなど）や新設現場の汚染確認、作業現場のモニタリングにご活用ください。